精密真空镀膜仪
VACUUM COATER

精密真空镀膜仪
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       真空镀膜作为半导体、显示、光伏等行业的重要工艺流程，对于器件和模组最终的产品性能起着至关重要的作用。在高真空度下，采用热蒸发或磁控溅射等手段，将高纯金属、化合物功能层等镀膜材料，以超高精度，如0.1nm/s的速度，均匀、致密地沉积到基材表面，并精确控制其厚度，通过不同性质的膜层组合，实现特定器件的特殊功能，如光伏发电、电致发光、晶体管放大等。

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